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2025-05
星期 四
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无锡立式炉氧化退火炉 赛瑞达智能电子装备供应
立式炉主要适用于6"、8"、12"晶圆的氧化、合金、退火等工艺。氧化是在中高温下通入特定气体(O2/H2/DCE),在硅片表面发生氧化反应,生成二氧化硅薄膜的一种工艺。生成的二氧化硅薄膜可以作为集成电路器件前道的缓冲介质层和栅氧化
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2025-05
星期 三
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无锡赛瑞达立式炉 赛瑞达智能电子装备供应
立式氧化炉:主要用于在中高温下,使通入的特定气体(如O₂、H₂、DCE等)与硅片表面发生氧化反应,生成二氧化硅薄膜,应用于28nm及以上的集成电路、先进封装、功率器件等领域。立式退火炉:在中低温条件下,通入惰性气体(如N₂),消除
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2025-05
星期 三
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无锡卧式炉化学气相沉积 赛瑞达智能电子装备供应
随着环保和节能要求的日益提高,卧式炉在节能技术方面不断创新。采用高效的余热回收系统是关键创新之一,通过热交换器将高温废气中的热量传递给冷空气或待加热物料。例如,将预热后的空气送入燃烧器,能提高燃烧效率,减少燃料消耗;将余热传递给原
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2025-05
星期 三
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无锡国产卧式炉 赛瑞达智能电子装备供应
随着环保和节能要求的日益提高,卧式炉在节能技术方面不断创新。采用高效的余热回收系统是关键创新之一,通过热交换器将高温废气中的热量传递给冷空气或待加热物料。例如,将预热后的空气送入燃烧器,能提高燃烧效率,减少燃料消耗;将余热传递给原
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2025-05
星期 三
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无锡立式炉 烧结炉 赛瑞达智能电子装备供应
立式炉的炉衬材料直接影响到炉体的隔热性能、使用寿命和运行成本。常见的炉衬材料有陶瓷纤维、岩棉、轻质隔热砖等。陶瓷纤维具有重量轻、隔热性能好、耐高温等优点,适用于对隔热要求较高的场合,但其强度相对较低。岩棉价格相对较低,隔热性能较好