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静电卡盘在运行过程中具有低振动特性,这对于需要高精度加工的应用尤为重要。与传统的机械夹持方式相比,静电卡盘通过静电吸附力固定工件,避免了机械接触带来的振动和应力。这种低振动特性能够明显提高加工精度和表面质量,尤其是在高精度的光刻和
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半导体零部件的维护保养是确保其长期稳定运行的关键环节。由于半导体零部件通常工作在高精度和高频率的条件下,任何微小的故障都可能导致整个系统的失效。因此,定期的检查和维护是必不可少的。这包括对零部件的清洁、性能测试以及磨损部件的更换。
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